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熱式氣體質量流量計

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熱式氣體質量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH,一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當這兩個RTD置于被測氣體中時,其中傳感器RH被加熱,另一個傳感器RMG用于感應被測氣體溫度。随着氣體流速的增加,氣流帶走更多熱量,傳感器RH的溫度下降。
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